self-aligned polysilicon-gate MOS process
- self-aligned polysilicon-gate MOS process
- MOP darinių su susitapatinančiomis polikristalinio silicio užtūromis technologija
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. self-aligned polysilicon-gate MOS process
vok. selbstjustierende MOS-Polysiliziumtechnik, f
rus. технология МОП-структур с самосовмещёнными поликремниевыми затворами, f
pranc. technologie de structure MOS à grilles en polysilicium auto-alignées, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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